| 9_3 | 9_4 | 9_5 |
| ナノフォーカス X線CT |
透過型電子顕微鏡 TEM |
集束イオンビーム源付 電界放射走査電子顕微鏡 FIB-SEM |
 |
 |
 |
| 高強度X線と高精度検出器・レンズにより高分解能でCT撮像し、試料の3次元構造を解析します。 | 原子配列の直接観察に加えて，ナノ領域での元素分布や化学結合状態の解析も可能です。 | 集束イオンビーム(FIB)を備えた走査電子顕微鏡で、イオンビームを照射することで試料表面を加工し内部の3D解析も可能です。 |
| 9_6 | 9_7 | 9_8 |
| 電界放射走査電子顕微鏡 (ナノメカニカル装置付属) |
イソケル | アルファキャビン |
 |
 |
 |
| 微小接合強度測定装置を備え、μmオーダーでの試料の機械的な変形挙動の測定が可能です。 | フロアマットなどの自動車防⾳部品やフラットな材料のランダム入射に対する遮音特性を測定する装置です。 | トップシーリングなどの自動車防⾳部品やフラットな材料のランダム入射に対する吸音特性を測定する装置です。 |